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超純水是在反滲透技術(shù)的基礎(chǔ)上，添加了離子交換和終端處理技術(shù)，有些還有離子除鹽、超濾和UV光氧化作用設(shè)備。盡可能地去處天然水中常見的可溶性無機(jī)物、有機(jī)物、顆粒物、微生物、可溶性氣體等雜質(zhì)。

超純水質(zhì)有比較嚴(yán)格的要求，一般根據(jù)應(yīng)用行業(yè)的性質(zhì)，電導(dǎo)率需達(dá)12MΩ、15MΩ、17MΩ、18MΩ、18.2MΩ等不同級別的超純水。

超純水設(shè)備常用的工藝方法有蒸餾法、反滲透法、離子交換法、過濾法、吸附法、紫外氧化法等，將水的純化過程大致分為4大步，預(yù)處理（初級凈化）、反滲透（生產(chǎn)出純水），離子交換（可生產(chǎn)出18.2MΩ.cm超純水）和終端處理（生產(chǎn)出符合要求的超純水）。

超純水的用途：

1、超純材料和超純試劑的生產(chǎn)和清洗；

2、電子、半導(dǎo)體、精密機(jī)械行業(yè)用超純水；

3、電池產(chǎn)品的生產(chǎn)；

4、半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)和清洗；

5、電路板的生產(chǎn)和清洗；

6、其他實(shí)驗(yàn)高科技精細(xì)產(chǎn)品的生產(chǎn)等。